钛硅靶 钛硅合金靶 真空溅射钛硅靶 钛硅合金靶
钛硅靶
产品详情
（1）产品特点：产品具有纯度高的特点。
（2）产品应用：各种靶材
（3）常用规格粒度：如下图或根据客户需求生产。
（4）化学成份以及物理指标（如下图）
（5）产品执行标准：
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产品名称 |
成份（at%) |
纯度 |
晶粒尺寸 |
密度 |
制造方法 |
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平面靶 |
TiSi 85/15 80/20 75/25 |
99.8% |
<120µm |
99.8% |
HIp |
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旋转靶 |
TiSi 85/15 80/20 75/25 |
99.8% |
<120µm |
99.8% |
HIP |
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规格/尺寸 |
Φ160*12 Φ128*15 Φ105*16 Φ100*32 Φ64*32 741*191*18 1040*191*18 1701*132*12 矩形靶材最长可达1800mm，圆形靶材直径可达350mm |
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